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電鏡制樣應(yīng)用案例:用EM TIC 3X解剖手機(jī)觸摸屏玻璃

瀏覽次數(shù):543 發(fā)布日期:2024-11-8  來(lái)源:徠卡顯微鏡

徠卡EM TIC3X三離子束研磨儀解剖手機(jī)觸摸屏玻璃,看到截面多層膜結(jié)構(gòu)。

樣品:手機(jī)觸摸屏玻璃

實(shí)驗(yàn)步驟:

預(yù)處理:玻璃刀切割掰斷

EM TIC 3X三離子束研磨儀參數(shù):

  • 加速電壓:7.5kV

  • 離子束流:2.8mA

  • 研磨時(shí)間:3h

  • 切割深度:50μm左右

樣品制備人員:徠卡納米技術(shù)團(tuán)隊(duì)

 

手機(jī)觸摸屏玻璃截面:放大倍率6,000


 

手機(jī)觸摸屏玻璃截面:放大倍率50,000

手機(jī)觸摸屏玻璃截面:放大倍率60,000

手機(jī)觸摸屏玻璃截面:放大倍率80,000

 

總結(jié)

對(duì)這類玻璃基底多層膜樣品,機(jī)械切割磨拋方式很難保證切割面的平整,也無(wú)法避免樣品剖面的污染和邊緣損傷;如果采用聚焦離子束FIB加工,應(yīng)對(duì)幾百微米的加工區(qū)域,將耗費(fèi)大量時(shí)間和帶來(lái)極高的使用成本。因此,氬離子束切割儀幾乎成為高效率、低成本的獲取無(wú)應(yīng)力損傷和無(wú)污染的平整剖面的唯一的選擇。

 

 直播預(yù)告 

 

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EM TIC 3X三離子束研磨儀

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