九叔归来3魁蛊婴在线观看_男人躁女人到高潮AV_香港成人论坛_亚洲精品久久久久久偷窥_夜来香成人网_亚洲制服 视频在线观看_无毒黄站_国产传媒18精品A片一区_麻花豆传媒剧国产MV在线观看_东北60岁熟女露脸在线_国产高清视频在线观看97_一道本视频一二三区_yellow免费播放在线观看_浪漫樱花动漫在线观看官网_高清AV熟女一区_天堂在线www_亚洲第一成年人网站_黄色在线免费观看_av女优快播_久久精品99国产精品日本

English | 中文版 | 手機版 企業登錄 | 個人登錄 | 郵件訂閱
當前位置 > 首頁 > 技術文章 > 氬離子拋光(離子研磨)工作原理及應用案例介紹

氬離子拋光(離子研磨)工作原理及應用案例介紹

瀏覽次數:2737 發布日期:2023-12-14  來源:本站 僅供參考,謝絕轉載,否則責任自負

機械研磨vs氬離子拋光
一般來說,掃描電子顯微鏡樣品制備通常使用機械切割或者磨拋的方式進行樣品觀測。機械研磨作為最常用的制備手段,通過研磨和拋光在樣品表面形成 1nm 至 100nm 厚度的非晶層,稱為 Beilby 層。Beilby 層會掩蓋住大部分的樣品真實信息,對掃描電鏡表征產生很大的影響。

 


機械制樣測試的 SEM 結果

氬離子拋光(離子研磨)工作原理:可以無應力地去除樣品表面層,加工出光滑的鏡面,為掃描電鏡的樣品制備提供了更為有效的解決方案。

氬離子拋光是使用高能離子槍轟擊樣品的頂面。高能離子束與樣品的表層非晶層中松散結合的表面原子相互作用,并將其除去以顯示原子級清潔的表面。在整個過程中可以調整離子能量,離子束入射角等,以優化樣品制備時間和表面質量。
 

 氬離子拋光儀工作原理示意圖 


氬離子拋光儀

經過氬離子拋光儀(離子研磨儀)處理后,使用掃描電鏡(SEM)觀測可以得到更為真實的樣品表面。

氬離子拋光的應用案例

  • 引線鍵合

結束前工序的每一個晶圓上,都連接著 500~1200 個芯片(也可稱作 Die)。為了將這些芯片用于所需之處,需要將晶圓切割(Dicing)成單獨的芯片后,再與外部進行連接、通電。此時,連接電線(電信號的傳輸路徑)的方法被稱為引線鍵合(Wire Bonding)。
 

引線鍵合是把金屬引線連接到焊盤上的一種方法,即把內外部的芯片連接起來的一種技術。從結構上看,金屬引線在芯片的焊盤(一次鍵合)和載體焊盤(二次鍵合)之間充當著橋梁的作用。因此,鍵合的質量會直接影響產品的質量,通常會使用 SEM 進行觀測。

通過直接機械研磨后進行檢查無法觀測到鍵合質量的好壞,經過氬離子拋光(離子研磨)處理后可以清晰地看到鍵合的質量。
 


機械研磨(無法觀測到鍵合質量)
 


氬離子拋光后的樣品SEM圖像
 


氬離子拋光處理后可清晰地看到鍵合的質量

發布者:復納科學儀器(上海)有限公司
聯系電話:400-857-8882
E-mail:cici.yang@phenom-china.com

用戶名: 密碼: 匿名 快速注冊 忘記密碼
評論只代表網友觀點,不代表本站觀點。 請輸入驗證碼: 8795
Copyright(C) 1998-2025 生物器材網 電話:021-64166852;13621656896 E-mail:info@bio-equip.com
主站蜘蛛池模板: 当涂县| 衡东县| 锡林浩特市| 涡阳县| 抚顺市| 阿克| 青川县| 文登市| 五台县| 黎平县| 永丰县| 新宾| 桂东县| 灵丘县| 澄迈县| 密山市| 六盘水市| 建湖县| 措美县| 磐石市| 册亨县| 原平市| 虞城县| 拜城县| 龙江县| 新化县| 平利县| 阿城市| 新乡县| 华坪县| 云林县| 吉林市| 松溪县| 汕头市| 南华县| 定西市| 邯郸县| 克什克腾旗| 周口市| 商水县| 安化县|