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掃描電鏡低電壓觀察區(qū)分導(dǎo)電樣品的不同

瀏覽次數(shù):2466 發(fā)布日期:2020-6-23  來源:本站 僅供參考,謝絕轉(zhuǎn)載,否則責任自負

什么是荷電效應(yīng)?

掃描電子顯微鏡主要用于樣品表面微觀形貌觀察,但在觀察樣品過程中經(jīng)常由于荷電效應(yīng)使得圖像異常變亮、畸變,甚至出現(xiàn)圖像模糊的情況,嚴重影響成像質(zhì)量。

圖1固體絕緣材料的電子發(fā)射特性曲線。橫坐標為入射電子能量,縱坐標為試樣的電子產(chǎn)率。荷電現(xiàn)象可以用基爾霍夫電流定律表示,即在任一瞬時流向某一結(jié)點的電流之和等于由節(jié)點流出的電流之和。可用以下公式表達:

其中 Ip 是入射電子的電流,δIb 是背散射電子和二次電子的電流之和,Isc 是樣品接地電流,Q 為時間 t 內(nèi)的放電電荷。

圖 1 絕緣體次級發(fā)射曲線

對于絕緣材料或者導(dǎo)電性不好的材料,接地電流 Isc 幾乎為零,若要樣品不放電(dQ/dt 等于 0),則 δ 必須等于 1,即入射電子的電流等于背散射于二次電子的電流之和。

從圖 1 中可知只有加速電壓為 E1 或者 E2 時,才能達到電荷平衡。當 δ< 1 時,樣品表面產(chǎn)生的背散射與二次電子總額少于入射電子數(shù),樣品表面呈負電位,在負電場的作用下電子被加速,更多的電子被探測器收集到,因此圖像會變得很亮。多數(shù)絕緣材料的 E2 點在 1.5KV-3KV 之間,個別可以達到 5KV。

降低荷電效應(yīng)方案

1. 選擇低加速電壓

低加速電壓下,入射電子數(shù)與背散射、二次電子產(chǎn)額之和達到平衡,能夠很好的改善樣品放電現(xiàn)象。

陶瓷(5KV)

2. 表面鍍膜處理

在樣品表面鍍上一層導(dǎo)電膜不僅能夠改善樣品的導(dǎo)電性,而且能夠提高樣品信號量。圖 2 是紙張的掃描電鏡照片,圖 2 (a) 是沒有鍍膜的樣品照片,圖 2 (b) 是鍍膜后的樣品照片。從圖中可以明顯看出兩者的差別。鍍膜也有其缺點,鍍膜會在樣品表面覆蓋一層薄膜,掩蓋樣品表面真實形貌。

  

圖2 (a)                                                        圖2 (b)

3. 采用低真空模式

圖 3 是使用飛納臺式掃描電鏡(Phenom XL)拍攝的梧桐樹皮照片,圖 3 (a) 是在高真空模式(HIGH)下拍攝的圖片,樹皮表面放電現(xiàn)象明顯,局部區(qū)域發(fā)亮;采用低真空模式(LOW)拍攝,可以發(fā)現(xiàn)樣品表面放電現(xiàn)象消失。

  

圖3 (a)                                                        圖3 (b)

發(fā)布者:復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司
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