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5169 次 MOCVD金屬有機化合物化學氣相沉積簡介 2023-8-16
MOCVD金屬有機化合物化學氣相沉積一、MOCVD簡述：MOCVD全稱是Metal-Organic Chemical Vapour Deposition（金屬有機化合物化學氣相沉積設備），是在氣相外延（VPE）的基礎上發展起來的一種

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