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121 次 半導(dǎo)體制造中的掃描電鏡之從工藝診斷到失效分析 2025-7-2
掃描電鏡（SEM, Scanning Electron Microscope）作為半導(dǎo)體行業(yè)中不可或缺的高精度檢測工具，憑借其納米級分辨率和強(qiáng)大的表征能力，已廣泛應(yīng)用于芯片制造、材料開發(fā)、失效分析、工藝優(yōu)化
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830 次 離子研磨儀和掃描電鏡在失效分析研究中的應(yīng)用 2023-12-5
離子研磨儀和掃描電鏡-失效分析研究的好搭檔失效分析是經(jīng)驗(yàn)和科學(xué)的結(jié)合，失效分析就如醫(yī)生，工藝設(shè)計(jì)之初，要有預(yù)防對策；產(chǎn)品生產(chǎn)后，進(jìn)行體檢，找出其中的隱患，給出預(yù)防辦法去防止；失效發(fā)生
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1513 次 Attolight CL-SEM系統(tǒng)在光電失效分析方面的應(yīng)用 2022-8-18
氮化鎵(GaN)是一種廣泛應(yīng)用于發(fā)光二極管(led)等光電器件的材料。LED結(jié)構(gòu)主要是通過外延生長在藍(lán)寶石襯底上，但由于成本原因，硅成為藍(lán)寶石的代替者。然而，硅和氮化物之間巨大的不配合和熱膨
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